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文/賀貴鴻
今年八月下旬的上海，德國AIXTRON AG舉辦「MOCVD技術國際短期培訓班」期間，筆者在愛思強中國代表處總經理Charlie Huang先生的幫助下，對AIXTRON研發部副總裁Michael Heuken教授做了簡單的採訪。近年來AIXTRON公司的MOCVD設備以及先進技術在大中華區LED產業取得了非凡成就，以下為專訪紀要。
問：MOCVD產能增長促成了LED的全面量產化，AIXTRON如何幫助LED製造商？
M. Heuken：AIXTRON的產品策略很大程度上是依照市場以及客戶的需求而定的。我們不斷地觀察這個市場，並深諳LED技術、應用、性能和價格需求的發展趨勢。在分析過這些資訊之後，AIXTRON開發出來的新型設備已經能完全符合它們。除了增大反應室的尺寸之外，我們還添加了新的功能：成品率升級(Yield Plus)；有助於提高均勻度和可重覆性，並增大晶片的成品率、降低生產成本。最後，我們在設計反應室時需要小心謹慎，這對大大提高LED的性能有所裨益。
AIXTRON努力的方向之一是為用戶提供優化的MOCVD反應室，站在這個角度上，我們很樂意與客戶分享AIXTRON在製程設計及其優化方面的豐富經驗。我們設置了一些部門，他們手上握有AIXTRON一些專有技術，包括類比和建模、以及應用實驗室和製程應用，所有的這些資源將提供給客戶，支援對方的研發和生產。因此，我們對整個產業鏈影響深遠。
這段時間，我們一直在推廣Close Coupled Showerhead(CCSTM)CRIUS系統以及AIX 2800G4 HT Planetary Reactor珜]備，兩者都對提高產量、獲取更高的LED晶片成品率貢獻良多。AIX 2800G4最大的優勢在於：在現有的生產環境中縮短生產周期。最近它在晶元光電、廣鎵光電和華上相繼投入量產，成績斐然。(編者按：據悉，截至八月末，有五套AIX 2800G4賣到歐洲，18套賣到亞洲；目前已有20套左右投入量產。)
問：作為全球頭號MOCVD設備商，AIXTRON將如何保持這種優勢？
M. Heuken：問題的答案歸總到我們剛談到的兩套設備，利用CCSTM和Planetary Reactor狴芠ㄔX的LED性能好，而且在較低的擁有成本條件下實現最高的生產力。在這個方面，我們有一支獨特的工程和製造團隊，他們能提供最高水準的質量保障。
MOCVD生產能力的提高表現在產量、成品率以及晶片單價降低三個方面。由於反應室從24×2〃 AIX 2600G3提高到AIX2800G4的42×2〃或6 × 6〃規格，因此腔內容量提高了70%，免烘烤(no baking)製程讓產量提高了40%。再者製程全程實行了氣體控制，比如在G4中配置了三相注射器(triple injector)，在MO源噴嘴上下端安插兩個氨氣噴嘴，如此讓表面生長更容易、生長率曲線更趨緩和、材料生長得更均勻；此外，增加原位監測(CRIUS珜]備採用Epi TT?對晶片的曲率和優化成品率很有效。至於生產成本，在多量子阱生長階段，NH3用量比雙向注射器的少了一半左右，耗氣量的減小既提高了設備硬體的可靠性，同時減少了維護次數。
在銷售模式上，我們一改歐洲企業的作風，採取更為開放的模式；相對於其他競爭企業來說，開放的政策讓我們不受桎梏，方便我們服務於本地的客戶。AIXTRON與LED產業擁有自己的「烽火臺」，我們能清楚地瞭解客戶的需求，並為下一次方案的調整做好充分的準備。我們的發展策略之一就是讓客戶成功！
問：為了優化系統的結構，AIXTRON在CCS與Planetary Reactor之間做了什麼調整？
M. Heuken：自從1999年收購Thomas Swan以來，AIXTRON擬定了明確的方針：為整個LED市場同時提供兩項技術，即CCSTM和Planetary Reactor牷F為此我們的客戶懷抱感激之情。為了讓這兩套設備達到更高的質量水準，我們做了多方面的努力，比如作為周邊設計中的一部分，最新的整合概念平臺(Integrated Concept，IC)設計應用到兩套設備中。它包含了多項技術性革新，比如具備數位計算流體力學(MFC)的全數位化設計、與SEMI S2相容以及設備的小型化等等。現在從外觀看來，兩者是一樣的，占設備1/4比例的核心爐才是各自的區別之處。這種為兩套設備提供一個共用平臺的做法，對AIXTRON的客戶尤為重要。在他們的廠房內，可能有兩種類型的MOCVD設備，共用平臺將對操作人員節省培訓和維護時間有幫助。
問：AIXTRON同時發展MOCVD與熱點技術HVPE，兩者有衝突嗎？
M. Heuken：AIXTRON在HVPE技術方面歷史最為悠久，一直在開發和推廣HVPE技術方面極為活躍。對於HVPE法生長的GaN基底，我們瞭解它的製程成熟性、晶體質量、快而可控的晶體生長速度、以及低價的生產成本。目前我們的客戶可以採用不同的方法，包括模板(template)生長，在水平HVPE設備上生長自支撐GaN層，或者在垂直HVPE系統中生長更大的塊晶體結構。就像AIXTRON認為的那樣，市場對這項有前景的HVPE法的態度不一；為此，我們同時保留MOCVD和HVPE技術，並將這兩項作為我們的產品，在今後的推廣中不斷地完善它們。
問：新的應用帶來機遇和挑戰，AIXTRON如何開發新興領域的新客戶？
M. Heuken：我們要牢記，AIXTRON的業務很大程度上是由LED應用驅動的。比方說初露端倪的LED背光模組(BLU)，它是下一個巨型市場。BLU對LED的需求量很大，並在LED性能、生產成本、晶片成品率三個方面有著極高的要求。汽車中的前照燈應用也是另一個耐人尋味的話題。最後的目標當然還是普通照明，但需要更好的LED性能並搭配更低的生產成本，AIXTRON對滿足這些挑戰的下一代MOCVD設備懷抱信心。
現在，中國的化合物半導體產業基本上將重心落在LED產業上，我們為此針對性推出了多個系列高產量的MOCVD設備；然而劍走偏鋒，另一些新的應用在中國悄然而起。全球仍在蓬勃發展的手機行業為GaAs元件打開了另一扇門，據估計這股潮流將會波及身在全球手機加工中心的中國。再者，今年光通信行業已經從低谷中走出有好轉傾向，由新興的FTTH帶動的高傳輸速率元件市場勢必影響到InP的走向。
問：貴公司在中國和臺灣地區的業務量迅速增加，請問你們在大中華區的發展策略是什麼？
M. Heuken：當然，臺灣市場的發展是AIXTRON最初在亞太市場取得成功的第一步。在很早以前，我們的策略就發揮了巨大的作用，即緊隨臺灣LED市場的穩健步伐、與客戶並肩作戰，根據他們的需求量體裁衣，不斷推出新的MOCVD設備。今天，我們又將重點轉移到中國大陸市場，而且投入的規模比臺灣還要大。在這裏，我們不僅提供了與世界同步的一流技術，並為中國的LED產業發展做出了應有的貢獻。
比如最近AIXTRON被吸納為國家半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)的第一個外國成員。該聯盟負責人吳玲女士表示AIXTRON獲此讚譽，一方面由於我們的技術領先，再者我們活躍在CSA的舞臺上由來已久，積極組織MOCVD研討會、並與中國的學術機構、政府部門和製造廠商展開了長期的合作關係。這些已經成為AIXTRON在中國成功創業史中不可分割的一部分！CSOT
圖：AIXTRON研發部副總裁Dr. Michael Heuken。 |
